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半导体另一个主要的氦气消费者是半导体行业，其消耗量约占全球氦气使用量的25%，以及美国氦气使用量的约10%。3 与MRI设备一样，氦气用于冷却超导磁体，这些磁体用于提高通过直拉法生长的硅锭的纯度。氦气也在一些生产过程中用作冷却剂，以及用作非反应性气体来冲洗某些容器、进行泄漏检测和多种其他用途。半导体工业协会2023年的一份报告指出，氦气被用作“载气，用于快速精确的能量和热传递，用于反应调节，用于背面和负载锁冷却，用于光刻，用于真空室，以及用于清洁。”同一份报告指出，对于其中许多用途，氦气没有替代品。
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